在电力电子技术的应用以及各种电源系统中,开关电源技术均处于---,逆变器就是一种dc/ac的转换器、它利用晶闸管电路,将电池组等直流电源转化成输出电压和频率稳定的交流电源。按照直流电源的性质来分类,逆变器可以分为电压型逆变器和电流型逆变器;按照输出端相数来分,逆变器可分为单相逆变器和三相逆变器,其中单相逆变器按结构可分为半桥型逆变器和全型逆变器。
随着现代工业的快速发展,对电源容量的需求也越来越大。尤其在工厂商业用电系统、舰船集中供电系统、蓄电池后备供电系统以及电力系统等,光伏发电组件价格,大功率逆变器拥有着---的应用前景。但是,在逆变器输出电压不变起的情况下,需要的输出功率越大,逆变器流过的电流也就越大,这对功率器件的生产已经逆变器的控制都形成挑战。
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报废片:
超过缺点片的规定常出---的印刷图型出现异常的缘故表明
1、电级掉下来(叠片):硅片与料浆没产生充足的铝合金层换句---沒有产生好的触碰。
2、断开:有物品粘在钢网上,导致堵网。解决方案:擦洗钢网,擦洗堵网地区。
3、跑模:钢网有系统漏洞解决方案:较小且没有细栅线上线下用封网浆将小圆孔封死就能。很大时务---拆换钢网。另留意跑模干万不可以漏在反面电级,那样会使rsh(并联电阻)过低。
4、粗点:钢网损伤,刮条不整平解决方案:换钢网,换刮条。
5、虚印:有时候会因为原料缘故造成如:据痕、薄厚不匀。其次跟刮条和钢网也是关联。解决方案:换钢网或换刮条。
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影响因素
1 .频率
射频 pecvd 系统大都采用 50khz~13.56 mhz 的工业频段射频电源。较高频率( >;4mhz )沉积的氮化硅薄膜具有---的钝化效果和稳定性。
2 .射频功率
增加 rf 功率通常会--- sin 膜的。但是,功率密度不宜过大,超过 1w/cm2 时器件会造成---的射频损伤。
3 .衬底温度
pecvd 膜的沉积温度一般为 250 ~ 400 ℃ 。这样能---氮化硅薄膜在hf 中有足够低的腐蚀速率,并有较低的本征压力,从而有---的热稳定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉积的氮化硅膜,本征应力很大且为张应力,而温度高于 450 ℃ 时膜容易龟裂。
4 .气体流量
影响氮化硅膜沉积速率的主要气体是 sih4 。为了防止富硅膜,选择nh3/sih4=2~20 (体积比)。气体总流量直接影响沉积的均匀性。为了防止反应区下游反应气体因耗尽而降低沉积速率,通常采用较大的气体总流量,以---沉积的均匀性。
5 .反应气体浓度
sih4 的百分比浓度及 sih4/nh3 流量比,对沉积速率、氮化硅膜的组分及物化性质均有重大影响。
理想 si3n4 的 si/n = 0.75 ,而 pecvd 沉积的氮化硅的化学计量比会随工艺不同而变化,但多为富硅膜,可写成 sin 。因此,必须控制气体中的 sih4 浓度,不宜过高,并采用较高的 sin 比。除了 si 和 n 外, pecvd 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子,即 sixnyhz 或 sinx :h 。
6 .反应压力、和反应室尺寸 等都是影响氮化硅薄膜的性能工艺参数
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