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扩散工艺
扩散目的
在来料硅片 p 型硅片的基础上扩散一层 n 型磷源,形成 pn 结。
扩散原理
pocl 3 在高温下 ( >; 600 ℃ ) 分解生成 ( pcl 5 ) 和 ( p 2 o 5 ), 其反应式如下 :
5pocl 3=3pcl 5 +p 2 o 5
生成的 p 2 o 5 在扩散温度下与硅反应 , 生成二氧化硅 ( sio 2 ) 和磷原子 , 其反应式如下 :
2p 2 o 5+ 5si = 5sio 2 + 4ppocl 3
热分解时,如果没有外来的氧( o 2 )参与其分解是不充分的,生成的 pcl5 是不易分解的,并且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状态。但在有外来 o2 存在的情况下, pcl 5 会进一步分解成 p2o 5 并放出( cl 2 )其反应式如下:
4pcl 5 +5o 2=2p 2 o 5 +10cl 2
生成的 p 2 o 5 又进一步与硅作用,生成 sio 2 和磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促使 pocl3 充分的分解和避免 pcl 5 对硅片表面的腐蚀作用,必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。就这样 pocl 3 分解产生的 p 2 o 5 淀积在硅片表面, p 2o 5 与硅反应生成 sio 2 和磷原子,并在硅片表面形成一层磷 - 硅玻璃,然后磷原子再向硅中进行扩散。
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电池片组件回收
(1)刚开始环节,层压机的溫度维持在较低溫度,eva熔融,太阳能组件价格,有优良的流通性,可是化学交联速率比较慢。进口真空泵对下室真空包装,因此部件內部的汽体快速而且非常容易的被吸走。上室维持真空泵,部件没受工作压力。
(2)eva干固环节。层压机溫度上升到1个较高溫度,eva产生迅速的化学交联反映。下室继续保持真空包装,立即排出来干固全过程造成的汽体。一起上室打气,上下左右室中间的工作压力差使层压机中的---橡胶层对部件施压。
(3)完毕环节。eva干固进行。起先上室真空包装,移去工作压力,随后下室打气,打开表盖。针对bipv部件,两面全是夹层玻璃,而且为了实现工程建筑规定,片式玻璃的厚度乃至超过5mm。基本的绝缘层背膜-eva-电池片-eva-夹层玻璃5层封裝加工工艺,此环节压层出---的难题较多。封裝出---的汽泡,挪动等状况,依据eva熔化干固基本原理,探求合适封裝的与众不同加工工艺。依据具体生产制造必须和必须品牌eva的干固特点按给出方式提升压层主要参数。
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